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我们的系统设计灵活且模块化。这使我们能够为客户提供标准和个性化的解决方案。
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靶材蒸发材料与Bonding技术
所提供多范围的高性能薄膜涂层材料应用范围广,例如大面积涂层、精密光学、触摸屏和装饰涂层。
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PECVD(化学气相沉积)和等离子体监测过程控制系统
工艺控制在工业等离子应用中至关重要,以确保工艺的可靠性和高质量。在这里,光谱法是首选技术,因为它不会影响等离子体,并且可以实时监测多种等离子种类。系统是一种基于光谱法的等离子体监测系统,具有分析、优化和控制等离子体应用所需的所有功能。
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等离子体监测和过程控制系统
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我们的设备主要应用于MEMS和精密光学元件的生产,同时也应用于天文学和生物医学技术。
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