离子束与等离子体及其控制，是scia的技术核心，其所有设备的独特之处，都在于此。

微波MW离子源采用电子回旋共振ECR激发等离子体，不仅有圆形口径，也有长条矩形源，矩形源可以通过增加射频头来增加长度，最长可达2m。