scia Multi 1500 磁控溅射镀膜系统是专门为高精度光学多层膜制造而设计的，在直径为Φ1500mm以内的平面或曲面基底上，镀制超过100个周期的超薄多层膜，可以镀高精度均匀膜或渐变膜。模块化仓室设计，具有独立的镀膜工艺室、缓冲室和加载室，同时兼顾了配置的灵活性、产能与可维护性。