离子束与等离子体及其控制，是scia的技术核心，其所有设备的独特之处，都在于此。

射频RF离子源采用ICP激发等离子体，内置RF匹配与产生器，具有多种圆形口径，最大直径450mm。 可移动的离子源，自带有射频匹配器，特别适合于离子束抛光的应用。