X射线光学器件的超高纯度清洗

  束线加速器组件的清洗

  复杂真空组件的除气检测

  使用超高真空（真空解析）去除三维形状样品上的污染物

  为了提高清洗质量，可选择加热样品和/或腔室（热解析）并应用等离子体处理

干法清洗允许在真空中用不同的方法去除样品表面及内部的污染物。这些方法可以连续应用以优化清洗结果。