低温泵是气体捕集泵，气态物质通过低温冷凝、低温吸附或冷冻捕集方式与泵内的冷表面结合。

低温泵的真空侧没有任何机械移动部件、油润滑或脂润滑部件。 

为了产生高真空或超高真空，必须将冷表面/低温面板冷却至足够低的温度。 Leybold 莱宝的 COOLPOWER i 系列（Gifford/McMahon 原理）久经考验、高可靠的单级或双级冷头为低温泵提供冷却。