涡轮分子泵用于需要高洁净度的高真空或超高真空的应用,例如核聚变研究、镀膜工业等及分析仪器等应用。
从原理上来看,涡轮分子泵是一种在壳体中快速旋转的涡轮,涡轮的各级都配备了多个转子叶片。旋转的转子叶片之间装有固定的定子盘,其叶片按相反方向放置。
通过旋转的转子叶片将动量传递到气体分子,气体分子最初的非定向热运动变成定向运动,即从泵的进口延轴方向移动到排气口。