精密纳米结构的斜视角沉积

通过电子束(电子束)蒸发,可在最多200毫米的晶圆片上沉积本发明的EVAEVA200超纯涂层。该系统可使多达12个目标材料在十字袋,并可配置为单晶圆负载锁或全自动磁带处理。此外,该系统具有很小的足迹和离子束源可以集成为预清洗。