离子束修整和离子束成形是先进的高真空技术，用于光学、微电子和纳米技术等各个领域的精密表面改性和校正与传统的机械抛光方法不同，IBT 和 IBF 工艺均无需物理接触即可进行操作。带正电离子（例如氩）的聚焦宽束在基板表面上移动。离子与基底原子的碰撞引发“碰撞级联”，导致单个颗粒从表面分离。去除量由处理持续时间控制。离子束在某一点停留的时间越长，去除的材料就越多。由于这两种形式都是物理过程，因此可以加工多种材料。

离子束修整是离子束修整的一种特殊形式，用于光学基板的抛光误差校正。它通常也称为 离子束抛光或离子束精加工，因为它通常是一系列加工步骤中的最后一步。